Gigaphoton giới thiệu hệ thống tái chế neon hTGM cho laser ArF, tuyên bố thu hồi 50%

Tóm tắt nhanh

• Gigaphoton ra mắt hệ thống tái chế khí neon tên hTGM cho laser argon fluoride (ArF) của hãng, với tỷ lệ thu hồi thử nghiệm là 50%.
• Công ty hy vọng tỷ lệ thu hồi có thể cải thiện đáng kể khi điều chỉnh cấu hình, theo Business Wire.
• Hệ thống nhắm tới giảm thiếu hụt chuỗi cung ứng chip do việc xuất khẩu neon từ Ukraine dừng lại sau 2022.
• Trước 2022, Ukraine cung cấp tới 50% neon dùng trong ngành bán dẫn, và việc ngưng xuất khẩu đã gây lo ngại về nguồn cung.
• Khoảng 70% neon toàn cầu được dùng cho sản xuất bán dẫn, đặc biệt trong các quy trình DUV tiên tiến chứ không phải EUV.
• Các nước như Trung Quốc, Đài Loan và Hàn Quốc đã tăng sản xuất neon nội địa và tích hợp hệ thống tái chế trong nhà máy.
• Nhiều nhà sản xuất chip đã lắp đặt hệ thống tái chế neon trong dây chuyền; Cymer được cấp hệ thống tương thích vào cuối 2023.
• Samsung và SK Hynix là hai hãng sản xuất bộ nhớ lớn đầu tiên triển khai tái chế neon trong năm 2024.
• Gigaphoton trước đây đã có tái chế neon cho laser KrF và giờ mở rộng khả năng đó sang laser ArF.
• Công ty Kanken Techno trình diễn hệ thống tái chế neon khác tại SemiCon Taiwan với tỷ lệ thu hồi trên 90%, cho thấy tiềm năng cải tiến lớn.

Tóm tắt tự động bằng AI từ bài gốc, có thể có sai sót. Hãy kiểm chứng ở bài gốc.